大理石平台的未来展望同位移机构

{一}、超机床的未来展望
超加工机床系统总的发展趋势是，大理石平台要求很高的加工表面质量和面形精度，加工尺寸趋于和小两个方向，同时要求复杂形面、不同材料的加工适应性等。
在提高加工表面质量、面形精度方面，一方面继续提高机床的精度、稳定性，另一方面通过加工工艺进步引入复合加工功能等，如在多轴超自由曲面磨床上引入进动抛光等准确定性加工功能以提高表面质量和面形精度。
超精加工所能达到的表面质量、面形精度与元件尺寸、形状、材料相关。对于具有复合加工功能的机床，辅以测量技术还可进一步从加工工艺上提。
近年来，太赫兹(THz)作为一门新兴技术广泛重视。太赫兹频谱介于微波与红外之间。太赫兹的性能给反隐身探测、电子对抗、电磁武器、宽带通信、天文学、医学成像、无损检测、检查等带来了深远的影响。太赫兹是未来超加工技术与机床广泛和重要的应用。
从大的尺度来说，太赫兹应用需求巨大，如太赫兹天线镜面加工需求。
在小的尺度方面，太赫兹系统中的微型波纹喇叭天线(毫米级复杂形状内腔、微米级加工精度)是未来所需解决的超加工难题之一。
超微机械加工机床的关键技术不在机床自身尺寸。由于运动精度要求，这种机床尺寸不能做得太小，因而其关键技术在于机床结构，如工件的装夹，在位测量、调整、对刀、微型超刀具等。
在加工面形的复杂度方面，由于太赫兹波束控制元件表面电磁特性，其设计元件面形很加复杂，如非对称贝武形自由曲面等。
由于各种条件限制，超机床不可能做得太大。对于硬脆材料的型应用，如深空望远镜拼接式离轴非球面镜片可用相应尺寸的多轴超自由曲面磨床加工解决，但对于太赫兹应用的金属基(如铝基等)相同尺寸或很复杂面形元件，这种机床就不适宜。
关于机门的未来趋势，应发展超加工机床，实现较大矢高大型赋形复杂曲面零件的加工能力。
在加工材料方面，太赫兹应用很具多样性。
发展超加工机床与系统，需突破解决的关键技术包括：、高分辨率、高稳定、大位移坐标测量系统，控制算法(自适应控制、二阶动态无差控制等)的轴运动控制器及精度环境控制技术等。
{二}、超位移机构
超位移机构是定位系统进给元件，也是对工艺系统误差进行动态、静态补偿的关键机构。为了获得的位移分辨率，运动系统对驱动器及其相关部件。超进给机构一般是利用机械传动(侗服电机+滚珠丝杠)、直线电机、电磁力(音圈电机)和智能材料(压电陶瓷、电致伸缩、磁致伸缩)等实现超进给。
音圈直线电机特别适合用于短行程的闭环伺服应用。由于它体积小，特别适合用在一些狭小的空间。另外它响应，本身重量小，因而可以达到很高的加速度。控制简单，无需换向装置，免维护。大理石平板可以进行的推力控制。精度可达1~5μm，加速度达20倍重力加速度。
棒型直线超声电机是一种能沿直线方向输出速度和推力的驻波超声电机。它具有输出推力大，位置分辨率高，响应和宁静驱动的特点，在输送驱动、定位控制、机器人等具有广阔的应用前景。
棒型直线超声电机工作时，其驱动振子在压电陶瓷(PZT)的激励下作同频率的纵向盯申缩振动和横向(弯曲)振动，从而在驱动振子输出端表面的质点上合成椭圆运动。为了能够用同一激励频率激励出纵向和弯曲这两个纯模态的振动，要求振子的这2个模态频率尽量接近。这是驱动振子的结构设计中解决的频率简并问题。驱动振子与导轨周期性的接触过程中，摩擦力的作用将使驱动振子产生相对导轨的直线运动。
在相同的激励电压下，为了在驱动振子输出端获得尽可能大的位移输出，尽可能地扩大纵向振动和横向振动的振幅。这就要求我们合理地设置激励纵向振动和横向振动的压电陶瓷的安放位置。