大理石平台控制参数校准技术与需要维修
【一】、控制参数校准技术
光刻机工作台是多变量的控制系统，存在动力学模型非线性、各白由度强藕合的特点，大理石平台控制策略在工程实施过程中存在着不可避免的简化，导致控制精度的下降。此外，工作台长期高速运动所致的器件温漂，部件运动过程中的松动也会造成控制参数与实际模型不匹配，进而影响控制精度。因此，需要对工作台的运动特点进行分析，设计相应的参数校准方法，通过对控制参数的校准与标定进而补偿工作台系统中的不确定因素。
1、电动机常数校准
电动机常数负责将控制器输出的力转换为驱动电动机运动的电流值，基于控制系统中实测的机械传递函数，计算出系统的测试质量，通过测试质量与工作台实际质量的比值，校正电动机常数，使控制器输出力转换为驱动电流。
2、加速度前馈控制参数校准
加速度前馈环路与位置反馈环路之问存在耦合。理论上，如果加速度前馈控制参数足够准确，工作台运动所需驱动力由前馈环节提供，此时，位置误差将为零。基于上述分析，将实测反馈环路的控制力转移到前馈环节，通过改变前馈控制参数来承担所转移的反馈控制力，进而起到校准前馈控制参数的目的。校准过程应该迭代进行，基于跟随误差较小的原则建立目标函数，并采用梯度矢量求解的方法对固定前馈控制结构中的参数进行了校准；基于工作台的规划加速度和实测反馈控制力，计算出转换质量并进行叠加，实现了前馈控制参数的迭代校准。
3、解耦控制参数校准
解耦控制器是微动台动力学模型的逆变换，由于工程实施过程中存在简化，解耦控制参数无法与系统特性匹配。在水平向3白由度运动控制中，如果解耦参数准确，一个方向的运动对其他两个方向的跟随误差不会产生影响，基于此，利用运动方向的规划加速度和非运动方向的反馈控制力计算串扰系数，将非运动方向的反馈控制力通过解耦参数的改变(即校准过程)进行转移；基于运动过程中非运动方向跟随误差较小的原则，构建目标函数并进行极值求解，对解耦控制器中的参数进行了校准。
【二】、什么程度下的大理石平台需要维修？
维修大理石平台（大理石平板）先要确定目前大理石平台的误差在什么范围，需要维修到什么范围之内，工作面是否产生坑洼。如果大理石平台表面已经产生小坑，就需要返厂加工。如果只是精度变了那么请师傅到使用现场去维修就可以了。
大理石平板是一种检验测量工具，它的主要特点就是。大理石平台在长期频繁的使用后精度误差会慢慢变大，大理石平台精度失准，这种情况下就需要进行维修了。
大理石平台的维修步骤：
1. 检测大理石平台精度，确定其当前误差。
2. 使用研磨砂及研磨工具对大理石平台进行粗研，通过粗研达到基准的平整要求。
3. 将粗磨后的大理石平台，进行二次半细磨，是去除比较深的划痕后，使大理石平台可以达到标准的平面度。
4. 精研大理石平台工作面，使其达到所理想的精度。
5. 检测大理石平台精研后的精度，然后放置一段时间后再次检测大理石平台精度。
注：花岗石平台平板，大理石平台平板的维修需要在恒温室内进行，的大理石平台对室内湿度也有要求，一般要求温度是20±2°，35%的湿度。
